发明名称 一种提高目标空间温度稳定性的实现装置及方法
摘要 本发明提供一种提高目标空间温度稳定性的实现装置及方法,所述实现装置包括:内壳,其内部为所述目标空间,所述目标空间中填充有第一介质;外壳,包围在所述内壳外部,与所述内壳之间形成环形空间,所述环形空间中填充有第二介质;静压腔体,设置于所述外壳的一端;过滤器,设置于所述外壳与所述静压腔体之间,所述静压腔体、过滤器及外壳三者连通。本发明所述提高目标空间温度稳定性的实现装置及方法,应用于干涉仪等需要高温度稳定性的装置,可以实现长时间的高温度稳定性。
申请公布号 CN102564299A 申请公布日期 2012.07.11
申请号 CN201010618443.9 申请日期 2010.12.30
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 杨志斌;束剑平;张洪博;赵滨;江家玮
分类号 G01B9/02(2006.01)I 主分类号 G01B9/02(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种提高目标空间温度稳定性的实现装置,其特征在于,包括:内壳,其内部为所述目标空间,所述目标空间中填充有第一介质;外壳,包围在所述内壳外部,与所述内壳之间形成环形空间,所述环形空间中填充有第二介质;静压腔体,设置于所述外壳的一端;过滤器,设置于所述外壳与所述静压腔体之间,所述静压腔体、过滤器及外壳三者连通。
地址 201203 上海市浦东新区张东路1525号
您可能感兴趣的专利