发明名称 |
一种提高目标空间温度稳定性的实现装置及方法 |
摘要 |
本发明提供一种提高目标空间温度稳定性的实现装置及方法,所述实现装置包括:内壳,其内部为所述目标空间,所述目标空间中填充有第一介质;外壳,包围在所述内壳外部,与所述内壳之间形成环形空间,所述环形空间中填充有第二介质;静压腔体,设置于所述外壳的一端;过滤器,设置于所述外壳与所述静压腔体之间,所述静压腔体、过滤器及外壳三者连通。本发明所述提高目标空间温度稳定性的实现装置及方法,应用于干涉仪等需要高温度稳定性的装置,可以实现长时间的高温度稳定性。 |
申请公布号 |
CN102564299A |
申请公布日期 |
2012.07.11 |
申请号 |
CN201010618443.9 |
申请日期 |
2010.12.30 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
杨志斌;束剑平;张洪博;赵滨;江家玮 |
分类号 |
G01B9/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01B9/02(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种提高目标空间温度稳定性的实现装置,其特征在于,包括:内壳,其内部为所述目标空间,所述目标空间中填充有第一介质;外壳,包围在所述内壳外部,与所述内壳之间形成环形空间,所述环形空间中填充有第二介质;静压腔体,设置于所述外壳的一端;过滤器,设置于所述外壳与所述静压腔体之间,所述静压腔体、过滤器及外壳三者连通。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张东路1525号 |