| 发明名称 | 反应机台及反应腔室 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种反应机台，包括加热器、三根顶针、支撑圆环和连杆，所述加热器上开设三个分别供对应的顶针穿越的通孔，所述三根顶针的上端共同支撑所述晶圆，所述支撑圆环经所述连杆接外部驱动源，每个顶针的下部设有配重支座，所述配重支座分别位于所述支撑圆环上。还公开了一种采用上述反应机台的反应腔室。由于配重支座的重力相对比较大，其可以带动顶针克服通孔内壁上沉积物的阻力，避免发生顶针下滑受阻而发生倾斜的现象，从而确保三个顶针在运动过程中高度一致，实现对晶圆的平稳支撑。 | ||
| 申请公布号 | CN202332809U | 申请公布日期 | 2012.07.11 |
| 申请号 | CN201120480586.8 | 申请日期 | 2011.11.25 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 刘立伟 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种反应机台，包括加热器、三根顶针、支撑圆环和连杆，所述加热器上开设三个分别供对应的顶针穿越的通孔，所述三根顶针的上端共同支撑所述晶圆，所述支撑圆环经所述连杆接外部驱动源，其特征在于，每个顶针的下部设有配重支座，所述配重支座分别位于所述支撑圆环上。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||