一种用于真空电镀腔室的门阀

摘要

本实用新型公开了一种用于真空电镀腔室的门阀，它包括门阀板，所述门阀板固定在一组由压簧和压板组成的门阀压座上；所述门阀压座上固定安装在一主轴上，该主轴通过联轴器连接于由气缸传动的气缸拨叉。本门阀利用气缸传动至气缸拨叉-联轴器-主轴-门阀压座，最后压紧门阀板。其特点是结构紧凑，传动灵活，门阀转动无死角，门阀能紧密贴合真空室，密封效果好，又因为采用联轴器和肘节各部件连接非常灵活精密，使用材料轻质耐用，因而各部件拆卸十分简单，方便维护和更换各种部件。

主权项

一种用于真空电镀腔室的门阀，包括门阀板，其特征在于：所述门阀板固定在一组由压簧和压板组成的门阀压座上；所述门阀压座上固定安装在一主轴上，该主轴通过联轴器连接于由气缸传动的气缸拨叉。