干涉式高密度圆光栅偏心检测方法

摘要

干涉式高密度圆光栅偏心检测方法涉及精密仪器检测领域，该方法利用激光器发出的单色光经过主光栅盘发生一次衍射，分别取0级次和+1级次，两束衍射光经过副光栅盘发生二级衍射取(0，+1)级次和(+1，0)级次，出射光线由于主光栅盘的移动，(+1，0)级次产生频移，(0，+1)级次则不发生频移，二者出射方向一致，产生干涉条纹；光电接收器接收到干涉产生的明暗条纹光信号后可以在示波器中得到正弦信号，根据不同相位正弦信号的合成，即可检测出主光栅盘的偏心量。本发明可以检测密度高于125线对/mm的计量光栅盘，使编码器光机结构的机械装调方便，使光栅计量系统体积减小，结构简单化。

主权项

干涉式高密度圆光栅偏心检测方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：将干涉式高密度圆光栅偏心检测装置通电，两组对径放置的激光器同时发出单色光，一组激光器发出的单色光经过对应的准直镜后变为平行光，平行光垂直入射到待检测的主光栅盘中，经过主光栅盘发生一次衍射，分别取0级次和+1级次衍射光，两束衍射光射向副光栅盘，副光栅盘与转轴同轴安装，光经过副光栅盘发生二次衍射，取(0，+1)级次和(+1，0)级次衍射光，二次衍射后的两束衍射光发生干涉，产生干涉条纹；由一个光电接收器接收后，将干涉产生的明暗条纹光信号转换为电信号后传给示波器；另一组激光器发出的单色光经过对应的准直镜后也变为平行光，经过与上述一组激光器相同的光路原理后，也产生干涉条纹；由另一个光电接收器接收后，将干涉产生的明暗条纹光信号转换为电信号后也传给示波器；示波器得到两组不同相位的正弦信号，通过比相法计算出主光栅盘相对于精密转动主轴的偏心量。