| 发明名称 | IDT/ ZnO/ Al/金刚石多层膜结构的声表面波射频识别标签 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种IDT/ZnO/Al/金刚石多层膜结构的声表面波射频识别标签，标签由端口谐振器和标签天线组成。该端口谐振器采用的是多层膜结构，可以提高标签的储存容量，增加标签的综合性能。与端口谐振器进行匹配设计了一款新型的弯折偶极子的标签天线，天线频率为2.45GHz，与传统天线相比增益和有效带宽明显增高，进而实现标签的远距离辐射。 | ||
| 申请公布号 | CN102567779A | 申请公布日期 | 2012.07.11 |
| 申请号 | CN201210001750.1 | 申请日期 | 2012.01.05 |
| 申请人 | 天津理工大学 | 发明人 | 杨保和;孙素娟;徐晟;李平 |
| 分类号 | G06K19/077(2006.01)I;B32B15/04(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I;H01Q1/38(2006.01)I | 主分类号 | G06K19/077(2006.01)I |
| 代理机构 | 天津佳盟知识产权代理有限公司 12002 | 代理人 | 廖晓荣 |
| 主权项 | 一种IDT/ ZnO/ Al/金刚石多层膜结构的声表面波射频识别标签，包括单端口谐振器与标签天线，其特征在于所述单端口谐振器采用IDT/ ZnO/ Al/金刚石多层膜结构，是在硅衬底上采用微波等离子CVD法制备金刚石膜，在金刚石膜上使用电子束蒸发系统制备40nm‑100nm厚度的 Al膜，再在Al膜上使用射频磁控溅射系统制备 C‑轴取向的ZnO薄膜，最后在ZnO薄膜上使用电子束蒸发系统制备金属膜，再经过光刻制备出谐振器上的叉指换能器和开路反射栅；所述标签天线是弯折偶极子天线。 | ||
| 地址 | 300191 天津市西青区宾水西道391号 | ||