用于沉积具有图形的有机薄膜的方法和系统

摘要

本申请提供了高生产量OVJP系统和方法，它们可以使用具有不同传导性的多个流动通路，以便能够在滞后时间相对较短的情况下沉积。高生产量的OVJP系统可以包括流动管，该流动管的截面面积比一个或多个孔(源材料可以在沉积过程中通过该孔排出)的直径大得多。使用这样的结构可以在滞后时间减小的情况下沉积。

主权项

一种装置，包括：外壳，所述外壳具有第一端、第二端以及布置在所述第一端和第二端之间的至少一个孔；有机分子源，所述有机分子源与外壳流体连通；载体气体源，所述载体气体源与有机分子源流体连通；旁通阀；第一流动通路，所述第一流动通路从源通过旁通阀，所述第一流动通路具有第一传导性；以及第二流动通路，所述第二流动通路从源通过所述至少一个孔，所述第二流动通路具有第二传导性；当旁通阀打开时，第一传导性为第二传导性的至少大约100倍。