用于合成三氯硅烷的流化床方法和三氯硅烷合成器

摘要

用于合成三氯硅烷的多级流化床方法和合成器，其中可将硅颗粒供给流化床反应器中的多个互通的流化区中的一个，其中向反应器供给包含氯化氢的流化气体。流化区可彼此横向邻接配置，例如并排或成水平线。有用的实施方案包括：将流化气体以不同速率和/或组成供给不同流化区；过滤设备，以过滤气态产物并使硅颗粒返回到反应器中，和冷却系统，用于冷却流化床和流化床上面的气体容积，如果存在的话。

主权项

用于合成三氯硅烷的多级流化床方法，所述方法包含：将硅颗粒流在进料位置供给加热的反应釜中的第一个流化区，反应釜包含多个彼此横向邻接配置的互通的流化区；供给流化气体向上通过各流化区，以在各流化区使硅颗粒流化并在各流化区形成颗粒流化床，其中流化气体包含氯化氢并可在流化床中与硅颗粒反应形成三氯硅烷；引导流化颗粒流从进料位置横向依序通过流化区；从反应釜输出包含三氯硅烷的气态产物；和任选地，从横向序列中的最后流化区通过排出口排出硅颗粒流的贫硅残渣。