一种用于超薄真空玻璃的薄膜吸气剂密封和开封方法

摘要

一种用于超薄真空玻璃的薄膜吸气剂密封和开封方法，包括一个薄膜吸气剂密封过程和一个薄膜吸气剂开封过程，在薄膜吸气剂密封过程中，先通过在真空中加热薄膜吸气剂的方法去除薄膜吸气剂的表面钝化层，然后利用真空镀膜方法在薄膜吸气剂上沉积金属或金属化合物薄膜作为保护膜，在薄膜吸气剂开封过程中，利用超短脉冲激光在真空中剥落沉积在薄膜吸气剂上的所述的金属或金属化合物薄膜，激活薄膜吸气剂。本发明利用真空镀膜方法在吸气剂薄膜上沉积保护膜，有效阻断空气对薄膜吸气剂的失效作用，并通过超短脉冲激光在真空中剥落沉积在薄膜吸气剂的保护膜，从而激活薄膜吸气剂。非常适合在超薄真空玻璃、平板显示器等制造过程中使用。

主权项

一种用于超薄真空玻璃的薄膜吸气剂密封和开封方法，其特征在于：所述的方法包括一个薄膜吸气剂密封过程和一个薄膜吸气剂开封过程，在所述的薄膜吸气剂密封过程中，先通过在真空中加热薄膜吸气剂的方法去除薄膜吸气剂的表面钝化层，然后利用真空镀膜方法在薄膜吸气剂上沉积薄膜作为保护膜，在所述的薄膜吸气剂开封过程中，利用超短脉冲激光在真空中剥落沉积在薄膜吸气剂上的所述的薄膜，激活薄膜吸气剂。