| 发明名称 | 形状测定传感器 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种形状测定传感器，用于测定检查对象物(100)的表面形状，该形状测定传感器(1)具有：探针(11)，其被支承为能够沿自身的轴方向滑动，通过沿轴方向进行滑动来追踪所述检查对象物(100)的表面形状；静压轴承(12)，其将所述探针(11)支承为能够沿轴方向滑动；以及止挡部(60)，其能够将所述探针(11)切换为定位保持在其滑动范围内的中间部的期望位置的第一状态和不干涉所述探针(11)的滑动的第二状态。 | ||
| 申请公布号 | CN102564382A | 申请公布日期 | 2012.07.11 |
| 申请号 | CN201110329047.9 | 申请日期 | 2011.10.26 |
| 申请人 | 奥林巴斯株式会社 | 发明人 | 长池康成;小林宏史 |
| 分类号 | G01B21/20(2006.01)I | 主分类号 | G01B21/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 李辉;于靖帅 |
| 主权项 | 一种形状测定传感器，该形状测定传感器用于测定检查对象物的表面形状，其中，该形状测定传感器具有：探针，其被支承为能够沿自身的轴方向滑动，通过沿所述轴方向进行滑动来追踪所述检查对象物的表面形状；轴承部，其将所述探针支承为能够沿所述轴方向滑动；以及探针保持机构，其能够将所述探针切换为定位保持在其滑动范围内的中间部的期望位置的第一状态和不干涉所述探针的滑动的第二状态。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||