制备硒化锌/硫化锌光学材料的设备、炉、炉用加热体

摘要

本发明是针对采用气相沉积方法制备材料的设备，此设备可用于多晶块体材料的生长。特别地采用该设备可制备出以硒化锌为基底、表面涂有硫化锌的块体复合材料。制备硒化锌/硫化锌复合光学材料的设备包括炉，与控制面板、真空系统、水冷系统以及动力变压器相连。炉体内放置加热体，加热体内部装有反应容器，炉体内部装有隔热挡板，炉壁上有用于连接通风系统和真空系统的孔、温度传感器、真空传感器以及连接大气的通风开关，炉体与炉盖具有水冷结构。加热器由石墨制成，圆柱体结构，沿着它的高度方向开槽，加热体侧壁厚度是变化。该发明成果主要是对设备的工艺性能及其相应部件进行改善，最终获得热力学性能和力学性能较为理想的高品质光学材料。

主权项

制备硒化锌/硫化锌光学材料的设备，其特征在于：包括炉，所述炉与控制面板、真空系统、水冷系统以及动力变压器相连，控制面板本身通过动力变压器与水冷系统相连，水冷系统也与真空系统相连。