| 发明名称 | 缺陷量测装置和缺陷量测方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种缺陷量测装置和缺陷量测方法，该缺陷量测装置包括至少一加热源，用以均匀地加热一样品的一第一端；至少一致冷源，用以均匀地致冷样品的一第二端；以及一热像仪，用以量测样品的热影像；其中加热源和致冷源用以使得样品的热影像具有温度梯度。 | ||
| 申请公布号 | CN102565130A | 申请公布日期 | 2012.07.11 |
| 申请号 | CN201010609535.0 | 申请日期 | 2010.12.28 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 彭保仁;陈政宪;柯心怡;温博浚 |
| 分类号 | G01N25/72(2006.01)I;G01J5/00(2006.01)I | 主分类号 | G01N25/72(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 陈小雯 |
| 主权项 | 一种缺陷量测装置，包括：至少一加热源，用以均匀地加热一样品的一第一端；至少一致冷源，用以均匀地致冷上述样品的一第二端；以及热像仪，用以量测上述样品的热影像；其中上述加热源和上述致冷源，用以使得上述样品的热影像具有温度梯度。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹县 | ||