用于测量微米体积样品粘度和弹性的微流变计及制作方法

摘要

一种用于测量微米体积样品粘度和弹性的微流变计，它具有一个内表面比较光滑且深度为微米级的流体通道；所说的流体通道内集成有压力传感器阵列；所说的流体通道内具有几何变化，构成收缩和扩展区域。制作方法为：流体通道的制作：在晶片上进行腐蚀形成通道，通道深度大于10微米，长度大于300微米，宽度大于100微米；压力传感器阵列的制作：压力传感器是在晶片上形成腔，流体流过将使腔表面发生形变；通道和传感器阵列分别在晶片上制作，将这俩个晶片结合；结合后的晶片上的流体单元被进一步切成各自独立的片上流变计。优越性：本发明能够对微米体积的样品粘度和弹性进行测量；通过集成压力传感器阵列缩小了微流变计的体积。

主权项

一种用于测量微米体积样品粘度和弹性的微流变计，其特征在于它具有一个内表面比较光滑且深度为微米级的流体通道；所说的流体通道内集成有压力传感器阵列；所说的流体通道内具有几何变化，构成收缩和扩展区域。