一种基片承载装置及应用该装置的基片处理设备

摘要

本发明提供一种基片承载装置，用于承载基片，其包括至少一个托盘，并且各托盘均具有两个相反的用于承载所述基片的盘面。在应用本发明提供的基片承载装置进行工艺时，与目前常用的同等尺寸的基片承载装置相比，可承载更多的基片，从而能够有效提高设备产能及工艺气体利用率。此外，本发明还提供一种应用上述基片承载装置的基片处理设备。

主权项

一种基片承载装置，用于承载基片，其特征在于，包括至少一个托盘，所述托盘具有两个相反的用于承载所述基片的盘面。