Hydrierung von Organochlorsilanen und Siliciumtetrachlorid

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Trichlorsilan, dadurch gekennzeichnet, dass Wasserstoff und mindestens ein organisches Chlorsilan in einem druckbetriebenen Reaktor, der ein oder mehrere Reaktorrohre umfasst, die aus gasdichtem keramischem Material bestehen, umgesetzt werden.