| 发明名称 | 一种石英舟托 | ||
| 摘要 | 本发明是对半导体芯片制造过程中扩散工序所用的石英舟或碳化硅舟传递及存放装置所做的改进，它包括托面、托底、石英柱，在所述托底与托面中间设置隔热面。本发明提供的石英舟托结构设计合理、实用性能强，本舟托所运用的材质为均质石英，便于清洗，减少这一环节对石英舟或碳化硅舟造成的沾污，从而减少对扩散系统的沾污。 | ||
| 申请公布号 | CN102543805A | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
| 申请号 | CN201010591470.1 | 申请日期 | 2010.12.16 |
| 申请人 | 宜兴市环洲微电子有限公司 | 发明人 | 伍林;潘建英;左亚兵 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人 | 柏尚春 |
| 主权项 | 一种石英舟托，包括托面(1)、托底(4)、石英柱(2)，其特征在于：在所述托底(4)与托面(1)中间设置隔热面(3)。 | ||
| 地址 | 214204 江苏省无锡市宜兴市环科园南岳路南岳工业园内 | ||