发明名称 |
异质晶体半导体器件及其制作方法 |
摘要 |
异质晶体半导体器件100及其制作方法200包括非单晶半导体层110、140和纳米结构层120,纳米结构层120包括与非单晶半导体层110、140的微晶体112成为一体的单晶半导体纳米结构122、124。 |
申请公布号 |
CN101622691B |
申请公布日期 |
2012.07.04 |
申请号 |
CN200880006770.X |
申请日期 |
2008.02.28 |
申请人 |
惠普开发有限公司 |
发明人 |
N·科巴亚施;S·-Y·王 |
分类号 |
H01L21/20(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I;B82B1/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/20(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
张雪梅;李家麟 |
主权项 |
一种异质晶体半导体器件(100),包括:具有第一能带间隙的第一非单晶半导体材料的第一层(110);具有第二能带间隙的第二非单晶半导体材料的第二层(140);纳米结构层(120),其包括具有第三能带间隙的单晶半导体材料的纳米结构(122、124),该纳米结构层(120)的纳米结构(122、124)与所述第一层(110)和所述第二层(140)之一中的微晶体(112)成为一体,其中所述纳米结构层(120)位于所述第一层(110)和所述第二层(140)之间;以及到所述第一层(110)和所述第二层(140)的分离电接触(160a、160b),所述纳米结构(122、124)可通过所述分离电接触(160a、160b)电访问。 |
地址 |
美国德克萨斯州 |