平移式基板清洗装置

摘要

本发明公开了一种平移式基板清洗装置，其驱动机构包括固定座、电机、偏心轮及往复座，固定座的上底板与下底板之间形成安装区，往复座滑动地安装于下底板上，电机安装于上底板上并位于安装区内，偏心轮连接于电机与往复座之间并平行于上底板及下底板；清洗机构包括固定架、输入总管及等间距安装于固定架上的若干管道组，管道组分别与输入总管连通且设置有朝向基板的喷嘴，固定架与往复座固定连接且悬置于基板上方。清洗时，电机通过偏心轮带动往复座往复运动，往复座带动固定架往复运动，清洗液通过喷嘴均匀充分地喷洒在基板上，可对直线运动中的基板进行不间断地清洗，提高清洗效率，具有较高的清洁度及自动化程度，且结构简单，成本低廉。

主权项

一种平移式基板清洗装置，适用于对平板状的基板进行清洗，所述平移式基板清洗装置包括驱动机构及清洗机构，所述驱动机构驱动所述清洗机构对所述平板状的基板进行清洗，其特征在于：所述驱动机构包括固定座、电机、偏心轮及往复座，所述固定座具有平行设置的上底板及下底板，所述上底板与所述下底板之间形成安装区，所述往复座滑动地安装于所述下底板上，所述电机安装于所述上底板上并位于所述安装区内，所述偏心轮连接于所述电机与所述往复座之间并平行于所述上底板及所述下底板，所述电机通过所述偏心轮驱动所述往复座作往复运动；所述清洗机构包括固定架、输入总管及安装于所述固定架上的若干管道组，所述管道组等间距排列且分别与所述输入总管连通，所述管道组上设置有朝向基板的用于喷洒清洗液的喷嘴，所述固定架与所述往复座固定连接，所述固定架悬置于基板上方并与所述基板平行；所述管道组包括分支管及喷嘴管，所述分支管的一端与所述输入总管连通，所述分支管的另一端与所述喷嘴管连通，所述喷嘴管与所述固定架固定连接，所述喷嘴均匀设置于所述喷嘴管上，全部所述管道组的喷嘴管等间距排列且位于与所述基板平行的一个面上。