一种多晶硅片酸性制绒液的添加剂及使用方法

摘要

本发明涉及一种多晶硅片酸性制绒液的添加剂、含有所述添加剂的酸性制绒剂及其制备方法，以及使用该添加剂或者酸性制绒剂对多晶硅片进行制绒的方法。本发明可以得到均匀性好、晶粒间无明显色差的绒面，绒面尺寸细小均匀。本发明的添加剂无毒性，无腐蚀性，无刺激性，无燃烧和爆炸危险，对人体和环境无危害；并且，溶液的配置和使用工艺简单，设备低廉，重复性好。

主权项

一种用于多晶硅片酸性制绒液的添加剂，其特征在于其中包含的组分为：三乙醇胺、聚乙烯吡咯烷酮和余量的水，其中三乙醇胺与水的体积比为0.1～10∶100，聚乙烯吡咯烷酮与水的重量比为0.001～0.1∶100。