模块化多通道微电极阵列及其制造方法

摘要

本发明的一些实施方式包括具有连接到载体的模块化平面微加工电极阵列的可定制的多通道微电极阵列、以及布置在其上的高密度记录和/或刺激电极位点。还公开了制造和使用其的新方法。

主权项

一种神经探测系统，包括：a.载体，b.至少一个平面微电极阵列，其连接到所述载体，所述平面微电极阵列包括与所述载体分离地形成的基底并进一步包括：多层互连物，其布置在所述基底上，所述互连物的每层被一电介质材料层隔离，多个电极位点，其中至少一些所述电极位点与相应的互连物接触，以及多个结合焊盘，其中至少一些所述结合焊盘与各自的互连物接触，其中至少一个所述电极位点是记录位点或刺激位点。