| 发明名称 | 一种硅片清洗机 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种硅片清洗机，包括依次排成一排的第一纯水槽、第一清洗槽、第二清洗槽、第三清洗槽、第二纯水槽、第三纯水槽和第四纯水槽，还包括与所述第二纯水槽连通的第一辅槽及自所述第一辅槽向所述第一纯水槽泵水的第一水泵，所述第一水泵与所述第一纯水槽之间连接有水管。本实用新型克服了现有的硅片清洗机纯水及能源浪费严重导致硅片清洗成本高的缺点，提供一种可大大节省纯水及热能从而降低硅片清洗成本的硅片清洗机。 | ||
| 申请公布号 | CN202290646U | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
| 申请号 | CN201120420325.7 | 申请日期 | 2011.10.28 |
| 申请人 | 镇江仁德新能源科技有限公司 | 发明人 | 杨福平 |
| 分类号 | B08B3/04(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I | 主分类号 | B08B3/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人 | 黄威;郭迎侠 |
| 主权项 | 一种硅片清洗机，包括依次排成一排的第一纯水槽、第一清洗槽、第二清洗槽、第三清洗槽、第二纯水槽、第三纯水槽和第四纯水槽，其特征在于：还包括与所述第二纯水槽连通的第一辅槽及自所述第一辅槽向所述第一纯水槽泵水的第一水泵，所述第一水泵与所述第一纯水槽之间连接有水管。 | ||
| 地址 | 212200 江苏省镇江市扬中市经济开发区港隆路998号 | ||