| 发明名称 | 抗蚀材料用感光性树脂组合物以及感光性树脂层压体 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种抗蚀材料用感光性树脂组合物，其包含(A)碱可溶性高分子30～70质量％、(B)具有烯属不饱和双键的化合物20～60质量％、以及(C)光聚合引发剂0.1～20质量％，其中，作为前述(B)具有烯属不饱和双键的化合物，包含分子内至少具有羟基、苯基和2个以上烯属不饱和双键的化合物(B-1)、以及分子内具有环氧乙烷基和(甲基)丙烯酰基的化合物(B-2)。 | ||
| 申请公布号 | CN102549498A | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
| 申请号 | CN201080042328.X | 申请日期 | 2010.09.24 |
| 申请人 | 旭化成电子材料株式会社 | 发明人 | 筒井大和 |
| 分类号 | G03F7/027(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/027(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种抗蚀材料用感光性树脂组合物，其包含(A)碱可溶性高分子30～70质量％、(B)具有烯属不饱和双键的化合物20～60质量％、以及(C)光聚合引发剂0.1～20质量％，其中，作为所述(B)具有烯属不饱和双键的化合物，包含分子内至少具有羟基、苯基和2个以上烯属不饱和双键的化合物(B‑1)、以及分子内具有环氧乙烷基和(甲基)丙烯酰基的化合物(B‑2)。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||