一种内置电容及其制造方法

摘要

本发明适用于印制电路板领域，提供了一种内置电容及其制造方法，所述电容包括：下层电容电极；位于所述下层电容电极表面的介电层，所述介电层由介电材料采用喷墨打印技术喷印而成；位于所述介电层表面的导电种子层，所述导电种子层由导电靶材采用磁控溅射技术溅射而成；以及位于所述导电种子层表面的上层电容电极。本发明实施例采用喷墨打印技术喷印介电层，采用磁控溅射技术溅射导电种子层，提高了介电层的均匀度，降低了介电层的厚度，增强了介电层与电极间的结合力，从而减小了电容公差值，提高了内置电容的可靠性和比埋容值，工艺简单，满足高密度封装的需要。

主权项

一种内置电容，其特征在于，所述电容包括：下层电容电极；位于所述下层电容电极表面的介电层，所述介电层由介电材料喷印而成；位于所述介电层表面的导电种子层，所述导电种子层由导电靶材磁控溅射而成；以及位于所述导电种子层表面的上层电容电极。