表面形状测量装置及方法

摘要

本发明提供一种表面形状测量装置，其使利用双波长移相干涉术的物体的表面形状测量装置的测量精度提高。其具备：低相干光源的光源(101)、透射波长不同的多个波长滤波器(103)、角度控制部(104c)、解析部(114)，并且，通过在实施双波长移相干涉术时由解析部(114)检测出双波长的波长差且对在一个波长运算下的波长值和相位值进行修正，来防止条纹次数的运算错误。接着，通过控制波长滤波器(103)的角度，使实际的波长差与设计值一致。由此，始终可使双波长的波长差控制为恒定，从而即使存在由温度变化或时间推移所引起的波长变动也能够高精度地测量表面形状。

主权项

一种表面形状测量装置，其具备：光源，将光进行辐射；多个波长滤波器，透射波长分别不同；切换装置，切换所述多个波长滤波器；干涉光学系统，使透过由所述切换装置切换的所述多个波长滤波器中的一个波长滤波器的光分路后向被检测物体和参照面进行照射，且使所分别反射的光叠加而干涉；摄像装置，对由所述干涉光学系统干涉的干涉条纹的图像进行摄像；干涉条纹相位检测部，从由所述摄像装置摄像的图像中计算出干涉条纹的相位；滤波器角度调节部，使由所述切换装置切换所述多个波长滤波器所算出的、两个波长的干涉条纹的相位组合而检测出波长差，基于所述波长差，对与入射至所述波长滤波器的光的光轴相对应的所述多个波长滤波器中的一个波长滤波器的倾斜角度进行调节；表面高度计算部，其在所述一个波长滤波器的倾斜角度调节后的状态下，通过所述干涉光学系统、所述摄像装置、及所述干涉条纹相位检测部的使用，求出所述被检测物体的表面高度。