激光-水射流复合微细加工工艺及装置

摘要

本发明涉及激光微细加工工艺技术，尤其是一种激光-水射流复合微细加工工艺及其装置。复合微细加工工艺为，水射流后置于激光束，并将水射流倾斜，同时作用于材料表面；水射流偏置距离的参数为：水射流偏置距离即激光束作用点与后置的水射流冲蚀点之间距离范围为：0.4-0.8mm；激光束的焦平面位置(fpp)参数为：-0.6mm-0mm；激光脉冲能量参数：0.3mJ-0.6mJ；移动激光脉冲重叠系数为：99.3％-99.9％；水射流压力为：5MPa-20MPa，水射流冲蚀角度为：30°-60°。本发明装置由水平导轨、垂直导轨组成的基体、水平滑板、垂直滑板、回转调节支架、水射流单元、激光切割单元构成。本发明的激光加热、软化的温度远低于融化或气化的温度，减少了对材料加工区域的热影响，实现了高效、稳定、近无损伤的精细加工。

主权项

激光‑水射流复合微细加工工艺，其特征为激光‑水射流复合微细加工工艺为，水射流后置于激光束，并将水射流倾斜，使得激光和水射流同时作用于材料表面；水射流偏置距离即激光束作用点与后置的水射流冲蚀点之间距离的选择范围为：0.4‑0.8mm；激光束的焦平面位置(fpp)的调整范围为：根据不同切割深度和宽度的加工要求，调整范围为‑0.6mm‑0mm；激光脉冲能量的选择范围为：0.3mJ‑0.6mJ；移动激光脉冲重叠系数的选择范围为：99.3％‑99.9％；水射流压力的选择范围为：5MPa‑20MPa；水射流冲蚀角度的选择范围为：30°‑60°。