发明名称 |
一种直拉单晶炉导流筒 |
摘要 |
本实用新型提出一种直拉单晶炉导流筒,包括外导流筒和内导流筒,所述外导流筒和所述内导流筒之间具有填充保温碳毡的保温间隙,所述外导流筒与所述内导流筒的接触部位设有增多外导流筒与内导流筒之间保温间隙容积的挡圈。本实用新型采用石墨棒结构代替钼质金属结构,使得即使长期处在高温状态下,也不会有杂质掉落硅熔体,保证产品质量。 |
申请公布号 |
CN202297842U |
申请公布日期 |
2012.07.04 |
申请号 |
CN201120260249.8 |
申请日期 |
2011.07.21 |
申请人 |
天长市百盛半导体科技有限公司 |
发明人 |
刘宏;林平;张建中 |
分类号 |
C30B15/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B15/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京品源专利代理有限公司 11332 |
代理人 |
温子云 |
主权项 |
一种直拉单晶炉导流筒,其特征在于,包括外导流筒(1)和内导流筒(2),所述外导流筒(1)和所述内导流筒(2)之间具有填充保温碳毡的保温间隙(3),所述外导流筒(2)与所述内导流筒(2)的接触部位设有增多外导流筒(1)与内导流筒(2)之间保温间隙(3)容积的挡圈(4)。 |
地址 |
239300 安徽省天长市秦栏镇工业园区百盛路(天长市百盛半导体科技有限公司) |