一种辅助刻蚀工艺的自动硅片装片机

摘要

一种辅助刻蚀工艺的自动硅片装片机，包括机架，所述机架的操作平台上安装有带空腔的底座，所述底座上连接有可旋转的带空腔的上盖，所述底座内从下往上依次安装有抽气平台、装片PSS盘、硅片定位盘，所述硅片定位盘由固定盘定位固定安装；所述底座上开有腔体第一出口、腔体第二出口、腔体第三出口，所述腔体第一出口与抽气平台连通，所述腔体第二出口和腔体第三出口均设在抽气平台的外侧，所述腔体第一出口、腔体第二出口与对腔体抽真空的真空泵连接，所述真空泵安装在机架底部平台上，所述腔体第三出口与输送氮气进入腔体的装置连接。本实用新型的优点：自动化程度高，操作方便，节省劳动力，降低了装片时的破损率，提高了刻蚀工艺的工作进程。

主权项

一种辅助刻蚀工艺的自动硅片装片机，包括机架，其特征在于：所述机架的操作平台上安装有带空腔的底座，所述底座上连接有可旋转的带空腔的上盖，所述底座内从下往上依次安装有抽气平台、装片PSS盘、硅片定位盘，所述硅片定位盘由固定盘定位固定安装；所述底座上开有腔体第一出口、腔体第二出口、腔体第三出口，所述腔体第一出口与抽气平台连通，所述腔体第二出口和腔体第三出口均设在抽气平台的外侧，所述腔体第一出口、腔体第二出口与对腔体抽真空的真空泵连接，所述真空泵安装在机架底部平台上，所述腔体第三出口与输送氮气进入腔体的装置连接。