发明名称 |
正型感光性树脂组合物、树脂膜的制造方法、半导体装置和显示元件及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种包含碱性可溶性树脂(A)、重氮醌化合物(B)、不含酚性羟基含-CH2OH基的化合物(C)所构成的正型感光性树脂组合物;采用该组合物的图案状树脂膜的制造方法;采用该组合物的半导体装置;及该半导体装置的制造方法。本发明还提供一种正型感光性树脂组合物;采用该组合物的图案状树脂膜的制造方法;采用该组合物的半导体装置及半导体元件;及该半导体装置及显示元件的制造方法,其中,正型感光性树脂组合物含有碱性可溶性树脂(A)、重氮醌化合物(B)、2种或2种以上的混合溶剂(D),而混合溶剂(D)含有γ-丁内酯及丙二醇单烷基醚,γ-丁内酯及丙二醇单烷基醚的合计量相对溶剂总量为70重量%或70重量%以上。 |
申请公布号 |
CN101833244B |
申请公布日期 |
2012.07.04 |
申请号 |
CN201010161446.4 |
申请日期 |
2004.06.21 |
申请人 |
住友电木株式会社 |
发明人 |
番场敏夫;池田拓司;矢野达也;平野孝 |
分类号 |
G03F7/022(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/022(2006.01)I |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 72003 |
代理人 |
吴小瑛;李英艳 |
主权项 |
一种正型感光性树脂组合物,该组合物包含碱性可溶性树脂(A)、重氮醌化合物(B)、混合溶剂(D),其特征在于,碱性可溶性树脂(A)是含有选自聚苯并噁唑结构、聚苯并噁唑前体结构、聚酰亚胺结构、聚酰亚胺前体结构及聚酰胺酸酯结构的1种以上结构的树脂,混合溶剂(D)含有γ‑丁内酯、丙二醇单烷基醚以及除γ‑丁内酯和丙二醇单烷基醚以外的偶极矩在3.5德拜以上的溶剂,并且,γ‑丁内酯及丙二醇单烷基醚的合计量相对溶剂总量为70重量%以上。 |
地址 |
日本东京都 |