化学增强型抗蚀剂组合物的制备方法

摘要

本发明提供一种抗蚀剂组合物的制备方法，所述抗蚀剂组合物能使从所制备的抗蚀剂组合物得到的抗蚀剂膜的溶解性能得以稳定；还提供了一种通过所述制备方法得到的、显示随时间退化的批间偏差小的抗蚀剂组合物。本发明的方法用于制备含有粘合剂、酸产生剂、含氮碱性物质和溶剂的化学增强型抗蚀剂组合物，所述方法包括选择溶剂的步骤，即选择具有不高于容许值的过氧化物含量的溶剂作为溶剂，以及在上述选择的溶剂中混合所述抗蚀剂组合物的组成材料的步骤。

主权项

一种化学增强型抗蚀剂组合物的制备方法，所述抗蚀剂组合物包括粘合剂、酸产生剂、含氮碱性物质和溶剂，所述方法包括：选择溶剂的步骤，所述溶剂具有不高于2.5mmol/L的过氧化物含量；以及在上述选择的溶剂中混合所述抗蚀剂组合物的其它组分的步骤。