发明名称 | 一种压力注浆法制备石英陶瓷坩埚的生产工艺 | ||
摘要 | 本发明涉及一种压力注浆法制备石英陶瓷坩埚的生产工艺,属于多晶硅行业用高级耐火材料技术领域,其生产工艺通过将具有颗粒级配的熔融石英料球磨成浆料后,利用微孔树脂模具代替传统石膏模,压力注浆过程包括合模、注浆成型和脱模取坯步骤,初始压力为0.1-0.2MPa,让石英泥浆填满模腔后将压力提高到0.3-1.5MPa,保压五分钟左右,使石英浆料中的水份经微孔树脂模具被过滤出去,形成方型坩埚坯体;坯体脱模时,利用压缩空气通过微孔模具背层向坯体表面施压,压力为0.2-0.3MPa。采用本发明制备得的石英坩埚生坯强度高,无残留大气孔,脱模容易,产品具有优异的抗热震、耐高温性能,能够满足多晶硅生产的工艺要求,且素坯干燥速度快,生产占地面积小,制作周期短,成本低廉,适于规模化生产。 | ||
申请公布号 | CN102528899A | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
申请号 | CN201110456990.6 | 申请日期 | 2011.12.27 |
申请人 | 咸阳陶瓷研究设计院 | 发明人 | 阎蛇民;成智文 |
分类号 | B28B1/26(2006.01)I | 主分类号 | B28B1/26(2006.01)I |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 一种压力注浆生产石英陶瓷坩埚的生产工艺,其特征在于:利用微孔树脂模具代替传统石膏模,压力注浆过程包括:制备浇注浆料、合模、注浆成型和启模、脱模取坯步骤,(1)、制备浇注浆料:将石英粉加去离子水磨细制浆,然后加入一定颗粒级配的石英干粉,石英干粉的质量百分比为(40‑80)∶(60‑20),混合后搅拌形成浇注浆料;(2)、将树脂模具固定在高压注浆机架下,合模后开始注浆,向石英浆料加压,初始压力为0.1‑0.2MPa,让泥浆充分填满模腔后将压力提高到0.3‑1.5MPa,保压4‑6分钟,使泥浆中的水份经模具微孔树脂层被过滤出去,形成方型坩埚坯体;坯体脱模时,利用压缩空气通过脱模气管及透气模具背层向坯体表面施压,压力为0.2‑0.3MPa,使坯体在压力作用下脱离模腔,然后取出坯体,完成坯体与模具脱离。 | ||
地址 | 712000 陕西省咸阳市渭阳西路35号 |