| 发明名称 | 一种高透氧化铟锡玻璃在线连镀装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种高透氧化铟锡玻璃在线连镀装置，主要依序连接有前端进片过渡真空室段1，Nb2O5镀膜室2，SiO2镀膜室段3、SiO2镀膜室4、隔离室5、ITO镀膜室6、ITO镀膜室7和后端出片过渡真空室段8，其特征在于:SiO2镀膜室4与ITO镀膜室6中间只有一个隔离室5、隔离室5有三台分子泵，与隔离室5相邻的SiO2镀膜室4有1对中频孪生靶11和3台分子泵9、与隔离室5相邻的ITO镀膜室6有1对直流ITO靶12和3台分子泵9。本实用新型安装了1对中频孪生靶11和1对直流ITO靶12、分子泵9，能抽取多余的氧气，使得氧气不易窜入到ITO镀膜箱体内，可以适应不同膜层厚度的需要、加大了整条镀膜线的产能，节约了成本。 | ||
| 申请公布号 | CN202297762U | 申请公布日期 | 2012.07.04 |
| 申请号 | CN201120415913.1 | 申请日期 | 2011.10.27 |
| 申请人 | 东莞市润华光电有限公司 | 发明人 | 邹定嵩 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C03C17/245(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种高透氧化铟锡玻璃在线连镀装置，主要依序连接有前端进片过渡真空室段（1）、Nb2O5镀膜室（2）、Si02镀膜室段（3）、Si02镀膜室（4）、隔离室（5）、ITO镀膜室（6）、ITO镀膜室（7）和后端出片过渡真空室段（8），其特征在于: Si02镀膜室（4）与ITO镀膜室（6）中间的只有一个隔离室（5）。 | ||
| 地址 | 523795 广东省东莞市大朗镇松木山村象山工业园嘉源路17号 | ||