发明名称 APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR101157196(B1) 申请公布日期 2012.07.03
申请号 KR20080110607 申请日期 2008.11.07
申请人 发明人
分类号 B65G49/06;H01L21/68 主分类号 B65G49/06
代理机构 代理人
主权项
地址