| 发明名称 |
Diffusionsverfahren zum Herstellen von Halbleiterbauelementen unter Verwendung einer dampffoermigen Dotierungssubstanz |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1163458(B) |
申请公布日期 |
1964.02.20 |
| 申请号 |
DE1956I012339 |
申请日期 |
1956.10.18 |
| 申请人 |
IBM DEUTSCHLAND INTERNATIONALE BUERO-MASCHINEN GESELLSCHAFT M.B.H. |
发明人 |
HUNTER LLOYD PHILIP |
| 分类号 |
C23C8/80;C23C12/00;C30B31/02;H01L21/00;H01L21/225;H01L29/00 |
主分类号 |
C23C8/80 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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