Vorrichtung und Verfahren zur Abscheidung chromhaltiger Überzüge

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung sowie Verfahren zur Abscheidung chromhaltiger Überzüge. Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung eine Vorrichtung, in welcher zumindest ein Teilstrom eines chromhaltigen Abscheideelektrolyten zur Abscheidung eines amorphen Chrom- oder Chrom-Kohlenstoffüberzugs auf einer Substratoberfläche einer Elektrolysezelle zugeführt wird, in welcher als Nebenprodukt der Chromabscheidung entstandenen Cr(III)-Ionen zu Cr(VI)-Ionen aufoxidiert werden.