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发明名称
CMP OF COPPER/RUTHENIUM SUBSTRATES
摘要
申请公布号
IL190342(A)
申请公布日期
2012.06.28
申请号
IL20080190342
申请日期
2008.03.20
申请人
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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