| 发明名称 | 钽粉末的提纯方法及钽靶材 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种钽粉末的提纯方法，包括：提供低纯度钽粉末；对所述低纯度钽粉末进行射频加热提纯。此外，本发明还提供一种经过上述提纯方法形成的钽粉末制成的钽靶材。采用本发明提供的钽粉末的提纯方法，可以对钽粉末的纯度进行提高。采用本发明提供的钽靶材，在溅射过程中，可以提供均匀度更高的薄膜。 | ||
| 申请公布号 | CN102517460A | 申请公布日期 | 2012.06.27 |
| 申请号 | CN201110460442.0 | 申请日期 | 2011.12.31 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 发明人 | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;袁海军 |
| 分类号 | C22B34/24(2006.01)I;C22B9/14(2006.01)I;B22F1/00(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I | 主分类号 | C22B34/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种钽粉末的提纯方法，其特征在于，包括：提供低纯度钽粉末；对所述低纯度钽粉末进行射频加热提纯。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号 | ||