发明名称 |
一种柔性半透明IGZO薄膜晶体管 |
摘要 |
本实用新型提出一种柔性半透明IGZO薄膜晶体管,包含缓冲保护层、删电极、栅绝缘层、源极以及漏极、塑料衬底、IGZO半导体层以及保护层,塑料衬底上覆盖缓冲保护层;其特征在于,栅电极位于缓冲保护层的中心顶部区域,并在缓冲保护层的两端的顶部区域形成对准标记层;栅电极的中心区域上部覆盖栅绝缘层;IGZO半导体层位于栅绝缘层的上部;源、漏两极分别位于半导体层的上部的两侧,仅在半导体层的顶部,源漏两极的中间形成通道,保护层覆盖整个通道;所述塑料衬底的厚度为25μm;其中栅电极采用梯形结构,对准标记层采用长方形结构。 |
申请公布号 |
CN202285237U |
申请公布日期 |
2012.06.27 |
申请号 |
CN201120338446.7 |
申请日期 |
2011.09.09 |
申请人 |
广东中显科技有限公司 |
发明人 |
王彬 |
分类号 |
H01L29/43(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/43(2006.01)I |
代理机构 |
北京瑞恒信达知识产权代理事务所(普通合伙) 11382 |
代理人 |
曹津燕 |
主权项 |
柔性半透明IGZO薄膜晶体管,包含缓冲保护层、删电极、栅绝缘层、源极以及漏极、塑料衬底、IGZO半导体层以及保护层,塑料衬底上覆盖缓冲保护层;其特征在于,栅电极位于缓冲保护层的中心顶部区域,并在缓冲保护层的两端的顶部区域形成对准标记层;栅电极的中心区域上部覆盖栅绝缘层;IGZO半导体层位于栅绝缘层的上部;源、漏两极分别位于半导体层的上部的两侧,仅在半导体层的顶部,源漏两极的中间形成通道,保护层覆盖整个通道;所述塑料衬底的厚度为25μm;其中栅电极采用梯形结构,对准标记层采用长方形结构。 |
地址 |
528225 广东省佛山市南海区狮山工业园北园中路11号 |