发明名称 一种柔性半透明IGZO薄膜晶体管
摘要 本实用新型提出一种柔性半透明IGZO薄膜晶体管,包含缓冲保护层、删电极、栅绝缘层、源极以及漏极、塑料衬底、IGZO半导体层以及保护层,塑料衬底上覆盖缓冲保护层;其特征在于,栅电极位于缓冲保护层的中心顶部区域,并在缓冲保护层的两端的顶部区域形成对准标记层;栅电极的中心区域上部覆盖栅绝缘层;IGZO半导体层位于栅绝缘层的上部;源、漏两极分别位于半导体层的上部的两侧,仅在半导体层的顶部,源漏两极的中间形成通道,保护层覆盖整个通道;所述塑料衬底的厚度为25μm;其中栅电极采用梯形结构,对准标记层采用长方形结构。
申请公布号 CN202285237U 申请公布日期 2012.06.27
申请号 CN201120338446.7 申请日期 2011.09.09
申请人 广东中显科技有限公司 发明人 王彬
分类号 H01L29/43(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I 主分类号 H01L29/43(2006.01)I
代理机构 北京瑞恒信达知识产权代理事务所(普通合伙) 11382 代理人 曹津燕
主权项 柔性半透明IGZO薄膜晶体管,包含缓冲保护层、删电极、栅绝缘层、源极以及漏极、塑料衬底、IGZO半导体层以及保护层,塑料衬底上覆盖缓冲保护层;其特征在于,栅电极位于缓冲保护层的中心顶部区域,并在缓冲保护层的两端的顶部区域形成对准标记层;栅电极的中心区域上部覆盖栅绝缘层;IGZO半导体层位于栅绝缘层的上部;源、漏两极分别位于半导体层的上部的两侧,仅在半导体层的顶部,源漏两极的中间形成通道,保护层覆盖整个通道;所述塑料衬底的厚度为25μm;其中栅电极采用梯形结构,对准标记层采用长方形结构。
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