等离子体发生器、包括它的基材处理装置及基材处理方法

摘要

一种等离子体发生器，包括用于供给源气体的气体供给部件和使用所述源气体产生等离子体的多个电极。所述多个电极在第一方向上为长棒形状，它们沿着垂直于所述第一方向的第二方向并排设置在同一高度处并且相互隔开。所述电极之间的间距借助于距离调节单元来调节，所述距离调节单元包括：与第一电极连接的第一连接器，与第二电极连接的第二连接器，以及将所述第一连接器和所述第二连接器相互连接的第一轴销。所述第一连接器和所述第二连接器在所述第一轴销上旋转，从而调节所述第一电极和所述第二电极之间的间距。

主权项

一种等离子体发生器，包括：用于产生等离子体的多个电极，所述电极在第一方向上为长棒形状，它们沿着垂直于所述第一方向的第二方向并排设置在同一高度处并且相互隔开，所述电极包括第一电极和第二电极；用于将源气体供给到所述电极的气体供给部件；以及用于调节所述电极之间的间距的距离调节单元，所述距离调节单元包括：第一轴销；第一连接器，其一端可转动地连接至所述第一轴销，另一端可转动地连接至所述第一电极；以及第二连接器，其一端可转动地连接至所述第一轴销，另一端可转动地连接至所述第二电极，其中，所述第一电极和所述第二电极之间的间距由在所述第一轴销上旋转的所述第一连接器和所述第二连接器调节。