基板和其制造方法

摘要

本发明的目的在于提供一种高温加热时的阻挡性优异，带有具有阻挡能力和催化能力的防止铜扩散用阻挡膜的基板、和其制造方法。本发明提供了一种基板，其特征在于，在基材上具有防止铜扩散用阻挡膜，所述防止铜扩散用阻挡膜含有：选自钨、钼和铌中的一种以上金属元素，对钌、铑和铱等的化学镀具有催化能力的金属元素，以及以所述选自钨、钼和铌中的一种以上金属元素的氮化物的形式被含有的氮。所述防止铜扩散用阻挡膜是通过使用含有选自钨、钼和铌中的一种以上金属元素和选自上述对化学镀具有催化能力的金属元素中的一种以上金属元素的靶源，在氮气氛围中溅射，从而制造的。

主权项

一种基板，其特征在于，是在基材上具有阻挡膜的基板，该阻挡膜含有同时具有阻挡能力和催化能力的单一层，并且该阻挡膜是防止铜扩散用阻挡膜，所述防止铜扩散用阻挡膜含有60～75原子％的选自钨、钼和铌中的一种以上金属元素和10～30原子％的对化学镀具有催化能力的金属元素，余量是以所述选自钨、钼和铌中的一种以上金属元素的氮化物的形式被含有的氮。