一种传感器U型氧化锆基体内电极涂覆装置及涂覆方法

摘要

本发明涉及内电极涂覆技术领域，特别涉及一种传感器U型氧化锆基体内电极涂覆装置，包括支撑台，通过升降装置设于支撑台一端的固定旋转治具，所述固定旋转治具与电机输出轴连接，所述支撑台另一端设有滑座，滑座上设有线型滑块，所述线型滑块上固定设于针筒，针筒通过管线水平设有针头，所述针头与旋转治具相对应设置；所述针筒通过软管与微量气体控制器连接，所述滑座与控制器电连接，控制控制线型滑块左右滑动；同时发明公开了使用上述装置进行涂覆的方法。本发明具有涂覆速度可控，定位精确，节省材料以及生产效率高等优点。

主权项

一种传感器U型氧化锆基体内电极涂覆装置，包括支撑台(13)，通过升降装置(12)设于支撑台(13)一端的固定旋转治具(2)，所述固定旋转治具(2)与电机(1)输出轴连接，所述支撑台(13)另一端设有滑座(11)，滑座(11)上设有线型滑块(10)，所述线型滑块(10)上固定设有针筒(5)，针筒(5)通过管线水平设有针头(4)，所述针头(4)与旋转治具(2)相对应设置；所述针筒(5)通过软管(6)与微量气体控制器(7)连接，所述滑座(11)与控制器(8)电连接，控制器(8)控制线型滑块(10)左右滑动。