发明名称 |
准分子灯 |
摘要 |
本发明提供一种即使使用化学性稳定的六氟化硫、四氟化碳、或三氟化氮的气体,也能提供高照度且照度稳定性高的准分子灯。该准分子灯在发光管(2)内封入有稀有气体与氟化物,在发光管(2)的外表面至少配置有一方的电极(10,11),其特征在于:发光管(2)内的气体压力为总压力13.3kPa以上,上述氟化物为六氟化硫、四氟化碳、或三氟化氮的任一种,上述氟化物相对于总气体的摩尔比为0.001%至10%,上述稀有气体由氩、氪、或氙的任一种与氦及/或氖构成,该氦及/或该氖相对于稀有气体整体的摩尔比为90%至99.5%。 |
申请公布号 |
CN101471226B |
申请公布日期 |
2012.06.27 |
申请号 |
CN200810183999.2 |
申请日期 |
2008.12.29 |
申请人 |
优志旺电机株式会社 |
发明人 |
小田史彦;森本幸裕 |
分类号 |
H01J65/00(2006.01)I;H01J61/12(2006.01)I;H01J61/30(2006.01)I |
主分类号 |
H01J65/00(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
谢丽娜;关兆辉 |
主权项 |
一种准分子灯,在发光管内封入有稀有气体与氟化物,在该发光管的外表面至少配置有一方的电极,其特征在于:上述发光管内的气体压力为总压力13.3kPa以上,上述氟化物为六氟化硫、四氟化碳、或三氟化氮的任一种,上述氟化物相对于总气体的摩尔比为0.001%至10%,上述稀有气体由氩、氪、或氙的任一种与氦及/或氖构成,该氦及/或该氖相对于稀有气体整体的摩尔比为90%至99.5%。 |
地址 |
日本国东京都千代田区 |