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发明名称 METHOD FOR MEASURING FILM THICKNESS AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 KR20030063191(A) 申请公布日期 2003.07.28
申请号 KR20030003340 申请日期 2003.01.17
申请人 发明人
分类号 G01B7/02;G01B15/02 主分类号 G01B7/02
代理机构 代理人
主权项
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