用于纯化矽烷之方法及系统

摘要

本发明揭示藉由使用蒸馏及/或冷凝操作以在杂质物流相对较少之矽烷损失来纯化含矽烷物流之方法及系统。

主权项

一种纯化含矽烷物流之方法，该物流包含矽烷及一或多种沸点高于矽烷之化合物，该方法包含：将该含矽烷物流引入重馏分(heavy-end)蒸馏塔中以产生相对于该含矽烷物流之富矽烷塔顶馏分及矽烷空乏之底部馏分，该矽烷空乏之底部馏分包含矽烷且相对于该含矽烷物流富含一或多种沸点高于矽烷之化合物；及将该矽烷空乏之底部馏分引入矽烷回收分离单元中以产生相对于自该重馏分蒸馏塔产生之该矽烷空乏之底部馏分之富矽烷馏分及矽烷空乏之馏分。