发明名称 |
超亲水性Ti-O-C基纳米膜制备方法 |
摘要 |
本发明涉及超亲水性Ti-O-C基纳米膜,其具有改进的沉积厚度以及出色的沉积均匀性,其通过在均一比例下混合Ti前体和低沸点的高挥发性液体而制成。催化剂加速Ti前体的汽化并使所述Ti前体易于被注入到反应室中,因此改进了等离子体聚合效率。 |
申请公布号 |
CN1965103B |
申请公布日期 |
2012.06.27 |
申请号 |
CN200480043241.9 |
申请日期 |
2004.12.30 |
申请人 |
LG电子株式会社 |
发明人 |
郑永万;田贤佑;郑昌日 |
分类号 |
C23C16/18(2006.01)I;C23C16/30(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/18(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
刘慧;杨青 |
主权项 |
超亲水性Ti‑O‑C基纳米膜的制备方法,其包括:将表面待处理的金属基材放置在真空状态下的反应室中,在所述反应室中安装有至少一个电极;向所述反应室中引入Ti前体气体、选自空气或氧气的反应气体,以及作为Ti沉积促进剂的选自DMB(二甲基丁二烯)、THF(四氢呋喃)和己烷中的挥发性催化剂气体;向电极施加高电压并因此将引入的气体变为等离子体状态;和在所述基材的至少一个表面上形成Ti‑O‑C基纳米膜。 |
地址 |
韩国首尔 |