| 发明名称 | 一种半导体芯粒的清洗装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种半导体芯粒的清洗装置，其特征在于它由芯粒存放盘（2）和连接于芯粒存放盘（2）上的手柄（1）组成，芯粒存放盘表面设置有一组芯粒存放槽（3），每个芯粒存放槽的底面设置一个将芯粒存放盘贯通的清洗液渗漏孔（5）。本发明与现有技术相比，其显著优点是：1、实现切割后的小芯粒快速、一致性清洗；2、可以一次性清洗几十到几百只不同大小的芯粒，芯粒尺寸范围达到0.5mm×0.5mm～5.0mm×5.0mm，清洗过程不会对芯粒造成任何损伤，进行批量较大的小芯粒清洗时工作效率可成倍提高；3、操作省时省力，制作成本低，使用的是普通工业用清洗试剂（一般使用无水乙醇即可）和常用超声清洗机，无须专用材料和设备。 | ||
| 申请公布号 | CN102522322A | 申请公布日期 | 2012.06.27 |
| 申请号 | CN201110419204.5 | 申请日期 | 2011.12.15 |
| 申请人 | 华东光电集成器件研究所 | 发明人 | 吴慧;徐春叶;欧阳径桥;张乐银 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人 | 杨晋弘 |
| 主权项 | 一种半导体芯粒的清洗装置，其特征在于它由芯粒存放盘（2）和连接于芯粒存放盘（2）上的手柄（1）组成，芯粒存放盘表面设置有一组芯粒存放槽（3），每个芯粒存放槽的底面设置一个将芯粒存放盘贯通的清洗液渗漏孔（5）。 | ||
| 地址 | 233042 安徽省蚌埠市经济开发区财院路10号 | ||