| 发明名称 | 处理装置和处理方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种处理装置和处理方法，该处理装置对被处理体(W)进行热处理。处理装置具有：能够收容多个被处理体(W)的处理容器(22)；设于处理容器(22)外侧的感应加热用线圈部(104)；对感应加热用线圈部(104)施加高频电力的高频电源(110)；将气体导入处理容器(22)内的气体供给部(90)；在处理容器(22)内保持被处理体(W)的保持部(24)；和通过来自感应加热用线圈部(104)的高频感应加热并加热被处理体(W)的感应发热体(N)。在感应发热体(N)上形成有用于控制在该感应发热体(N)上产生的涡电流的流动的切口状的槽部。 | ||
| 申请公布号 | CN101494163B | 申请公布日期 | 2012.06.27 |
| 申请号 | CN200910005625.6 | 申请日期 | 2009.01.20 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 泽田郁夫;松浦广行;高桥俊树 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/324(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种处理装置，其对被处理体实施热处理，其特征在于，包括：能够收容多个所述被处理体的处理容器；设于所述处理容器的外侧的感应加热用线圈部；对所述感应加热用线圈部施加高频电力的高频电源；向所述处理容器内导入气体的气体供给部；在所述处理容器内保持所述被处理体的保持部；以及通过来自所述感应加热用线圈部的高频感应加热，并加热所述被处理体的感应发热体，其中，在所述感应发热体上形成有用于控制在该感应发热体上产生的涡电流的流动的切口状的槽部，所述保持部在交替配置所述被处理体和所述感应发热体的状态下保持所述被处理体和所述感应发热体。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||