真空机械引入装置

摘要

本发明提供一种真空机械引入装置，安装于一真空腔体上，并包括：一固定地与该真空腔体组装的分隔座、一入力机构及一出力机构。所述入力机构包括一设置于该分隔座的外部的入力轴座以及多个设置于该入力轴座上的磁性单元。该出力机构包括一设置于该分隔座的内部的出力轴座以及多个设置于该出力轴座上的磁性单元。当该入力轴座转动时，通过所述磁性单元间的磁力可带动该出力轴座跟着转动。通过该分隔座阻隔腔体空间及外界环境，具有极佳的气密阻隔效果，而所述入力轴座与出力轴座间为非接触式的动力传导，可减少机械摩擦阻力造成的元件磨耗。

主权项

一种真空机械引入装置，安装于一个真空腔体的一个腔壁上，所述真空腔体界定出一个腔体空间，而该真空机械引入装置包括一个固定地与该腔壁组装的分隔座，该分隔座包括一个与该腔壁间隔的分隔端壁以及一个自该分隔端壁的周缘朝该腔壁延伸连接的分隔围壁，该分隔围壁与该分隔端壁共同界定出一个安装空间，其特征在于，该真空机械引入装置还包括：一个入力机构，包括一个能够相对转动地设置于该分隔座的外部的入力轴座以及多个设置于该入力轴座上并位于该分隔座的外部的第一磁性单元，所述入力轴座包括一个罩覆于该分隔座的外周并供所述第一磁性单元安装的入力本体及一个自该入力本体的一侧朝远离该腔壁的方向延伸的入力轴；及一个出力机构，包括一个出力轴座以及多个设置于该出力轴座上的第二磁性单元，所述出力轴座包括一个设置于该分隔座的安装空间的出力本体以及一个自该出力本体延伸出并穿过该腔壁而伸入该腔体空间的出力轴，所述第二磁性单元安装在该出力本体上，并位于该分隔座的安装空间，所述第二磁性单元的位置分别对应所述第一磁性单元的位置；前述出力轴座能够在该入力轴座转动时，受到所述第一磁性单元及所述第二磁性单元之间的磁力作用而随着该入力轴座转动。