| 发明名称 |
Procédé de fabrication de dispositifs semi-conducteurs |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR1377866(A) |
申请公布日期 |
1964.11.06 |
| 申请号 |
FR19630958012 |
申请日期 |
1963.12.20 |
| 申请人 |
NATIONAL RESEARCH DEVELOPMENT CORPORATION |
发明人 |
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| 分类号 |
C23F1/02;H01L21/00;H01L21/306;H01L33/00 |
主分类号 |
C23F1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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