发明名称 半导体记忆装置
摘要 本发明之目的在获得一种可藉由MOS工序制造,并可实现稳定动作之半导体记忆装置。储存电晶体(STr)系具备有:杂质扩散区域(22,24)、通道形成区域(23a)、电荷蓄积节点(23b)、闸极氧化膜(18)、闸极电极(19)。闸极电极(19)系连接于闸极线(GL),而杂质扩散区域(24)系连接于源极线(SL)。储存电晶体(STr)系藉由形成电荷蓄积节点(23b)中蓄积有电洞之状态以及未蓄积电洞之状态,而分别储存资料”1”以及资料”0”。存取电晶体(ATr)系具有:杂质扩散区域(20,22);通道形成区域(21);闸极氧化膜(16);以及闸极电极(17)。杂质扩散区域(20)系连接于位元线(BL)。
申请公布号 TWI366898 申请公布日期 2012.06.21
申请号 TW094118861 申请日期 2005.06.08
申请人 瑞萨电子股份有限公司 日本 发明人 森下玄;有本和民
分类号 H01L23/48 主分类号 H01L23/48
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区博爱路35号9楼;陈昭诚 台北市中正区博爱路35号9楼
主权项
地址 日本