追踪制程用水中污染源的方法

摘要

一种追踪制程用水中污染源之方法，系先分别取得自不同清洗槽所排放出之变化曲线图，侦测排放至缓冲槽内之排放水的水质浓度，以输出一水质变化曲线图。其后，再将同一时间内之每一排放水量变化曲线图与水质变化曲线图进行分析比对，以于超过一预定水质标准，输出每一个排放水之一分析结果。如此，则能根据此分析结果，即时追踪到超过预定水质标准之排放水体，进而快速地改善制程排放水之流程。