| 摘要 |
<p>Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung von Silicium-Dünnstäben, umfassend folgenicium; b) Sequentielles Abschneiden von Brettern einer bestimmten Dicke vom Stab mittels einer Sägevorrichtung, wobei der Stab zwischen zwei aufeinanderfolgenden Schnitten jeweils derart um 90° oder um 180° axial gedreht wird, so dass von vier aufeinanderfolgenden Schnitten paarweise jeweils zwei der vier Schnitte auf radial gegenüberliegenden Seiten des Stabes erfolgen oder wobei das Abschneiden der Bretter simultan gleichzeitig an radial gegenüberliegenden Seiten des Stabes erfolgt; c) Zersägen der abgeschnittenen Bretter zu Dünnstäben mit rechteckigem Querschnitt. Vorrichtung zur Erzeugung von Dünnstäben aus einem Siliciumstab durch Sägen, beinhaltend eine erste Einheit umfassend eine Vielzahl von Schneidwerkzeugen sowie eine Kühlflüssigkeit zur Kühlung der Schneidwerkzeuge, eine zweite Einheit umfassend Düsen zum Einbringen von zusätzlicher Kühlflüssigkeit in Schneidspalte des zu bearbeitenden Werkstücks sowie eine dritte Einheit umfassend eine Bandsäge oder eine Drahtsäge oder eine oder mehrere Wellen enthaltend Schneidwerkzeuge.</p> |
